微热板的热测试和热分析

隨著近代高新技術的發展，要求各種探測器微型化。微加工技術的進步，使得微器件制造有了可能，于是微傳感器就應運而生了。微熱板作為一種微型加熱器在微傳感器中有著極為重要的作用。它的溫度分布和熱特性直接影響微傳感器的工作性能，為此微熱板的熱測試和熱分析成為微傳感器的研制、使用和評價所必不可少的工作。 本文件對研制中的氣體傳感器的微熱板，用紅外熱成像技術進行熱測試和分析，獲得氣體傳感器微熱板的微小區域的溫度分布，為傳感器的研制提供了可靠的依據。